Untersuchungen zur Filterung von Messdaten von GF-Kristallzüchtungsanlagen

Diese Diplomarbeit entstand unter gemeinsamer Betreuung mit Herrn Prof. Rehkopf vom Institut für Automatisierungstechnik der Fakultät 4. Am Institut für Automatisierungstechnik wird die Kristallzüchtung nach dem Gradient-Freeze-Verfahren in Mehrzonenöfen durchgeführt. Für die Steuerung des Kristallzüchtungsprozess ist es erforderlich, die Ofenparameter zu identifizieren. Im Rahmen der Diplomarbeit wurde untersucht, inwieweit durch geeignete Filter, insbesondere Butterworth-Tiefpassfilter und Kalman-Filter, die Genauigkeit der Identifikation verbessert werden kann. Dazu wurde Software erstellt und in ein bestehendes Programmpaket integriert. Die durchgeführten Testläufe belegen die Verbeserung der Identifikation durch den Einsatz von filtern.